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日本ガイシ 多治見市に半導体製造装置用セラミックスの新生産拠点を設立
2017年11月9日
日本ガイシ（名古屋市瑞穂区）は５月１８日、岐阜県多治見市に半導体製造装置用セラミックスの新生産拠点を設立すると発表。生産能力を約２５％増強する。
延床面積約３万４０００㎡のＮＧＫセラミックデバイス多治見工場を、多治見長瀬テクノパーク内に新設する。設備投資額は約２００億円で、２０１８年３月着工、２０２０年４月生産開始予定。半導体製造装置の内部で半導体材料のシリコンウエハーを支持するセラミック製の機能部品（サセプター）を、製造子会社のＮＧＫセラミックデバイス（愛知県小牧市）が生産する。
日本ガイシは独自の製法により、高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスでも安定した性能を発揮し、半導体の生産効率を高める高機能なサセプター製造を実現。継続して拡大し今後も堅調な成長が見込まれる半導体市場での、高まる需要に対応する。